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開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置,用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)

單點開爾文探針

掃描開爾文探針

超高真空開爾文探針

環境控制開爾文探針

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